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芯片

西人马公司拥有先进的芯片设计和芯片加工设备(清洗、湿法刻蚀、离子刻蚀、低压气相沉积、机械化学抛光、用胶、光刻、磁控射、键合等),以及完善的微纳米检测设备包括:电子显微镜、原子力显微镜、椭偏仪、探针台、高精度电性能检测平台等。西人马公司所研制的芯片包括MEMS、ASIC 和微流控医疗芯片。

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